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应用案例半导体行业EtherCAT总线驱控一体转台应用

admin2023-12-04PLC人已围观

简介作为半导体制造工艺中的重要一环,单晶硅硅片制造工艺尤为重要。多晶硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等不同工序加工后,表面已经受到严重的玷污,因此有一个

 

  

作为半导体制造工艺中的重要一环,单晶硅硅片制造工艺尤为重要。多晶硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等不同工序加工后,表面已经受到严重的玷污,因此有一个很重要的工艺段便是清洗,其目的就是为了去除硅片表面颗粒、金属离子以及有机物等污染。

  

凯福科技针对单晶硅片制造清洗工艺提出了SSDC集成式EtherCAT总线驱动器+YKW系列一体式转台的方案。具有尺寸更小,速度波动平稳等特点。

  

工艺流程图

  

 

  

案例展示

  

 

  

 

  

方案优势

  

驱控一体尺寸更小

  

 

  

速度更稳

  

 

  

-【End】-

  

广东凯福电子科技有限公司

  

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